此前有报道称,近期台积电(TSMC)首席执行官魏哲家访问了ASML的总部,同时也拜访了激光供应商Trumpf,与对方的高层会面。台积电似乎改变了之前对High-NA EUV光刻技术的一些看法,或许会加快引入新技术和新设备的步伐。

据Wccftech报道,ASML发言人Monique Mols向媒体提及,ASML首席财务官Roger Dassen已确认今年年底前将向英特尔和台积电运送两台High-NA EUV光刻机。受到该消息刺激,ASML的股价在今天开盘后大涨,美东时间6月5日收盘时上涨了9.52%。

由于英特尔在购买High-NA EUV光刻机方面表现得相当积极,新设备出现时已抢先下单,并在去年末接收了业界首台商用High-NA EUV光刻机,前一段时间已完成组装工作。传闻英特尔已经获得了明年上半年之前生产的大部分High-NA EUV光刻机,所以选择继续接收属于正常操作。真正让人感到意外的是台积电,要知道不久之前,台积电高层还在否定短期内引入High-NA EUV光刻机的做法,认为设备过于昂贵,A16制程工艺的公布一定程度上也印证了这种想法。

随着ASML证实了台积电将在今年引入High-NA EUV光刻机,已经有媒体联系了台积电了解相关情况,不过得到的答复是属于与供应商之间的密切合作,似乎现阶段不想做太多的回应。据了解,三星和SK海力士明年也将得到High-NA EUV光刻机,预计在2025年下半年。

此前有报道称,一台High-NA EUV光刻机的价格大概为3.8亿美元,是EUV(约1.83亿美元)的两倍多,目前ASML每年High-NA EUV光刻机的产能大概在5到6台,收到的订单数量在10至20台之间。

【来源:超能网】