此前有报道称,近期台积电(TSMC)首席执行官魏哲家访问了ASML的总部,同时也拜访了激光供应商Trumpf,与对方的高层会面。台积电似乎改变了之前对High-NA EUV光刻技术的一些看法,或许会加快引入新技术和新设备的步...
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发布了文章 2024-06-06
台积电迈向High-NA EUV时代,ASML证实年内将交付新设备
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此前有报道称,近期台积电(TSMC)首席执行官魏哲家访问了ASML的总部,同时也拜访了激光供应商Trumpf,与对方的高层会面。台积电似乎改变了之前对High-NA EUV光刻技术的一些看法,或许会加快引入新技术和新设备的步...
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